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940nm VCSEL 阵列工艺平台官方技术说明(网页)
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940nm VCSEL 阵列工艺平台官方技术说明(网页)

官方页面介绍 940 nm VCSEL 单结外延阵列的加工工艺及阵列形式;PCE 指标具有外延及芯片结构等适用条件。

编辑:宝典蛙编辑更新:2026-10-07
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资料介绍

官方页面介绍 940 nm VCSEL 单结外延阵列的加工工艺及阵列形式;PCE 指标具有外延及芯片结构等适用条件。

已核验的官网信息

项目官网列示内容
工艺高深度及高垂直角度 Mesa 蚀刻;高均匀性湿法氧化
电镀能力高深宽比深孔填充
阵列20~400 个,一字或方形排布
PCE 条件官网表述为:在特定外延及芯片结构设计下,工作电流下大于 40%

此条为官方网页索引。不同型号、版本、配置和测试条件不能混用,完整说明与适用条件以厂家原页面为准。

原始资料

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来源:陕西光电子先导院科技有限公司 官网 · 查看来源 ↗

作者 / 编辑:宝典蛙编辑 · 最后更新:2026-10-07 23:11

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